科研成果六:数字全息显微系统

发布者:吴琼   发布时间:2018-05-20  浏览次数:13    

  

数字全息显微系统分为透射式及反射式两类。图1是透射式数字全息显微镜结构框图 ,它由激光器、扩束准直系统、显微物镜图像传感器及计算机等组成。      

主要应用材料表面微观结构检测;MEMS/MOEMS检测;细胞检测

主要性能指标:纵向灵敏度小于10nm,横向分辨率显微物镜衍射极限。

  

  

  

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